美泰科技掌握MEMS核心技术,打造国际一流MEMS企业

近期，美泰科技筹建的6寸MEMS生产线即将竣工，未来发展前景广阔。为此，麦姆斯咨询采访了美泰科技副总经理、市场总监吝海锋先生，带领大家一起领略中国领先的MEMS集成元件制造商（IDM）厂商的魅力。

微访谈：美泰科技副总经理、市场总监吝海锋

采访背景：早在2012年，由美泰电子科技有限公司（以下简称：美泰科技）研制的高精度MEMS加速度计突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术，在国际招标项目中，一举战胜美国和欧洲等国际知名MEMS传感器厂商。这是国产高精度MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜，标志着中国高端MEMS加速度计已达到国际先进产品水平。而近期，美泰科技筹建的6寸MEMS生产线即将竣工，未来发展前景广阔。为此，麦姆斯咨询采访了美泰科技副总经理、市场总监吝海锋先生，带领大家一起领略中国领先的MEMS集成元件制造商（IDM）厂商的魅力。

麦姆斯咨询：我们知道，MEMS是一个技术门槛很高的行业。美泰科技是一家高端MEMS厂商，产品种类丰富，涉及惯性、压力、流量、射频、光学等。由此可见，美泰科技的研发实力非常强大。您是否可以介绍一下美泰科技的产品发展历程？

吝海锋：美泰科技MEMS研发历史已经超过20年，我们坚持“人为载体、自主创新、技术立业、质量取胜”的理念，一开始我们就瞄准了技术含量最高的高端MEMS惯性器件，自主创新设计和掌握核心制造技术，有了MEMS核心制造技术，有了多学科专业的人才，产品扩展就相对容易了。于是我们陆续开发出了射频、光学、流量、压力等MEMS器件，每一种器件开发我们都坚持走高端路线和自主创新，这样产品才有竞争力。比如说我们开发的MEMS硅腔滤波器和环形器/隔离器都是国际原创产品，如今单一产品销售都过亿了，一直是一枝独秀。再比如我们开发的压力传感器，我们直接开发耐压20倍的产品、无引线抗恶劣环境产品、耐高温产品以及精度万分之五以内的高端产品，这些产品一推出就吸引了国内外500强企业的关注，产品供不应求。

美泰科技的MEMS产品系列

美泰科技的RF MEMS滤波器

麦姆斯咨询：美泰科技的MEMS产品应用领域主要有哪些？这些领域的市场营收占比是多少？能否相应地举出一些项目案例？

吝海锋：美泰科技的MEMS产品应用领域主要有航空航天、汽车、高铁、测试测量、无人机、智能制造、地震、风电、桥梁、工程机械、家电和工业物联网等高端应用领域。前4个应用领域营收占比60%多，后面几个应用领域增长势头强劲。比如说汽车领域，我们有空气流量计、歧管压力传感器和差压传感器等核心产品，这些产品都是控制汽车节能减排的关键部件，顺应了国家强制控制污染的潮流，产品率先打入汽车主机厂，也是国产自主核心传感器芯片产品首次打入汽车原装市场。不仅如此，国际汽车传感器巨头还向我们采购传感器芯片。

麦姆斯咨询：2015年，美泰科技的MEMS碰撞传感器成功中标上海大众集团汽车实验室。您是否可以介绍下这款碰撞传感器的情况？如何战胜国际竞争对手？

吝海锋：MEMS碰撞传感器中标上海大众正是我们产品质量取胜的体现。之前，汽车碰撞试验用的传感器一直被美国某著名传感器企业垄断，他们制定产品标准，设置技术壁垒，垄断市场，产品价格居高不下，10多年产品没有升级，产品质量下降，汽车企业有苦难言。我们勇于创新、突破技术壁垒、狠抓产品质量，开发的产品通过大众等汽车企业的严格质量考核，产品使用寿命比国外产品高出1倍多，打破了国外高端传感器不可战胜的神话，为汽车企业节约了大量成本。

麦姆斯咨询：欣闻美泰科技全新的6英寸MEMS生产线即将投入使用，这意味着美泰科技的MEMS芯片生产能力大幅提高。您能否介绍下这条生产线的情况以及未来的发展规划？

吝海锋：美泰科技的6英寸MEMS生产线总投资超过1亿美元，是一个专门生产高端MEMS产品的全新自动化产线，具备完备的设计、芯片加工、封装、系统集成以及产品测试能力，是一个典型的IDM产线。新产线的月产能将达到1万片，比现在提升10倍。新产线将成为国内乃至国际上规模最大的高端MEMS传感器生产基地之一。

美泰科技的6英寸MEMS生产线

麦姆斯咨询：作为一家IDM MEMS企业，美泰科技是否考虑扩展MEMS代工服务？如果开展代工服务，那么如何保证自己与客户的利益/知识产权不产生冲突？目前有哪些潜在的客户？

吝海锋：和国外大的IDM MEMS企业一样，美泰科技一直承揽MEMS代工服务，代工服务是新产线的一项重要使命。在多年为客户提供代工服务的过程中，我们积累了IDM企业开展代工服务的经验，形成了代工服务的规则，很好的保护了客户的利益和知识产权，实现了共赢。我们的代工客户不仅有大学、研究所、初创企业、设计公司，还有大企业和系统集成商以及香港、新加坡、日本、美国和欧洲的客户。生物MEMS、流体MEMS和光MEMS是我们代工服务的重点方向，我们已经有一些优质客户。

麦姆斯咨询：目前，国内流行Fabless + Foundry模式，典型的代工厂，如中芯国际、华虹宏力、先进半导体和华润上华等，另外，盛世投资也收购了全球领先的纯MEMS代工厂Silex Microsystems，并计划在国内布局建线，美泰科技将如何与它们竞争MEMS代工市场？竞争优势在哪里？

吝海锋：MEMS领域的Fabless + Foundry模式还处于探索阶段，目前国际上比较成功的MEMS企业大多是IDM企业。

和国内现有的MEMS代工企业相比，我们具有三大优势，第一我们具有技术优势，我们从事MEMS制造有20年经验，具备多种工艺技术能力，其他企业都是近几年从微电子代工转到MEMS领域来的；第二我们具有产线完整优势，除了晶圆代工外，我们还有强大封装测试能力，这对于现阶段的MEMS领域非常重要；第三我们的产线只做MEMS，而国内其他MEMS代工线大都和IC共线，只能提供和IC工艺兼容的MEMS代工，我们可以提供更多种类的MEMS代工服务。

和纯MEMS代工厂Silex Microsystems相比，我们同样具备产线完整优势，可以快速为客户推出完整的MEMS产品，众所周知，MEMS封装和测试对产品的贡献率超过60%。另外，我们有强大的高端产品支撑，经济实力和可持续发展能力强，可以很好的支撑客户初期产品上不了量带来的经营压力。纯MEMS代工企业，小客户和初期产品代工客户“吃不饱”，客户培养大了，往往又跑TSMC了。目前这个困局也很难解开。

麦姆斯咨询：今年3月，美泰科技完美亮相慕尼黑上海电子展，提出“一站式MEMS传感器解决方案”口号？您能否详细介绍下该解决方案？

吝海锋：我们提出的“一站式MEMS传感器解决方案”有两个含义，第一，由于我们是IDM模式，我们可以为产品用户和代工客户提供从设计、芯片制造、封装、测试和系统集成等完整的解决方案；第二，由于我们的MEMS传感器种类比较全，涵盖压力、温度、流量、加速度计、角速度、应力应变、冲击、振动、光学和无线等，对于航空、航天、汽车、高铁等终端客户需要的多种传感器，在我们这里基本可以“一站”买全，而且我们还可以提供传感器系统解决方案。如我们不仅可以提供高端加速度计和陀螺仪，我们还可以提供惯性测量组合IMU和航姿参考系统等传感器系统。

美泰科技提供MEMS一站式解决方案

麦姆斯咨询：从专业角度出发，美泰科技是如何看待中国MEMS行业未来五年的发展？您认为哪些MEMS产品将有较大的市场机遇？目前中国MEMS行业的大环境对于美泰科技而言，有哪些机会和挑战？

吝海锋：未来五年将是中国MEMS产业爆发的时期，中国有句古话“厚积薄发”，中国的MEMS行业已经潜心积累了20多年，在国家集成电路产业基金引导、智能制造2025、强基工程、互联网+、万物互联的时代，中国的MEMS产业一定会迎来大发展。我认为高端传感器、射频MEMS和生物医疗MEMS将有较大市场机遇。目前中国MEMS行业的大环境对美泰科技非常有利，10年前我们还是国内少数几家MEMS开拓者，现在大家争相发展MEMS，国家、地方政府、投资者和用户都认识到MEMS的重要性了，行业气候形成了，对于先行一步的美泰无疑是最大的受益者。我们的挑战是打破国际MEMS巨头对产业的垄断。

麦姆斯咨询：未来，美泰科技是否会考虑强强联手的战略合作，通过收购、股权置换等方式整合资源，加速公司发展步伐？

吝海锋：“强强联手、合作共赢”一直是美泰发展的理念和成功的法宝。我们已经和国内高校、研发机构和500强企业以及法国、德国、比利时、意大利和美国的企业和研究机构建立了合作关系。美泰科技欢迎来自同行、用户和资本方的高手与我们携手创造辉煌。通过资本市场和资源整合加速公司发展是我们的重要选项。

麦姆斯咨询：美泰科技今后五年的目标是什么？更长远目标是什么？

吝海锋：美泰科技今后5年的目标是产值过10亿，成功上市。长远目标是成为国际一流MEMS企业，力争进入世界MEMS企业前5强。

关于美泰科技

美泰科技致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

美泰科技拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。已通过ISO9001：2008、TS16949:2009、GJB9001B-2009体系认证。

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